該設(shè)備專為中高產(chǎn)量環(huán)境設(shè)計(jì)，可靠性高，配有薄膜控制面板。其 10 英寸 [254 毫米] 的磨盤非常適合直徑達(dá) 1.5 英寸 [38 毫米] 的樣品，并可與多達(dá) 5 個(gè)Burst拋光液配送模塊兼容，實(shí)現(xiàn)單個(gè)拋光步驟的自動(dòng)化。