空氣軸承模組適用各種精密量測制程精準(zhǔn)對位，容易實(shí)現(xiàn)超高六個(gè)自由度（線性精度、水平直線度、垂直直線度、Yaw、Pitch、Roll）以及軸與軸間之正交度，廣泛應(yīng)用于Micro LED、半導(dǎo)體AOI、PCB檢測、自動(dòng)化精密量測、雷射切割。